Vacuum Pumps
真空泵
图片仅供参考，具体配置以订单为准。
型号 VPU-0003 · 真空设备
涡轮分子真空泵
Turbomolecular Vacuum Pump
表面分析、薄膜沉积和电子显微镜需要高真空和超高真空。本分子泵极限压力低于10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar，氮气抽速50–3,000 L/s，转速20,000–90,000 rpm，陶瓷球轴承或磁悬浮轴承，前级压力需低于0.1 mbar。请指定DN 63–DN 250 CF或KF法兰以及风冷或水冷。
- 极限压力
- Below 10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar
- 抽速（N2）
- 50–3,000 L/s
- 转速
- 20,000–90,000 rpm
- 压缩比（N2）
- 10⁸–10¹¹
- 轴承类型
- Ceramic ball or magnetic
包装与运输
| 产地 | 中国（上海发货） |
|---|---|
| 品牌 | 利奎德国际 / 可 OEM 贴牌 |
| 出口包装 | 免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱 |
| 装运港 | 上海港 / 宁波港（其他港口可议） |
| 付款方式 | T/T 电汇、即期信用证（以报价单为准） |
| 贸易术语 | EXW、FOB、CFR、CIF、DAP |
以上为常规出口条款，最终条款以形式发票 (PI) 为准。
产品描述 Description
表面分析、薄膜沉积和电子显微镜需要高真空和超高真空。本分子泵极限压力低于10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar，氮气抽速50–3,000 L/s，转速20,000–90,000 rpm，陶瓷球轴承或磁悬浮轴承，前级压力需低于0.1 mbar。请指定DN 63–DN 250 CF或KF法兰以及风冷或水冷。
产品特点
- 极限压力低于10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar
- 氮气抽速50–3,000 L/s
- 陶瓷球或磁悬浮轴承
- DN 63–DN 250 CF或KF进口
应用领域
- 电子显微镜
- 表面分析和 XPS
- 质谱分析
- 薄膜沉积
- 半导体和镀膜工艺
技术参数 Specifications
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 极限压力 Ultimate pressure | Below 10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar |
| 抽速（N2） Pumping speed (N2) | 50–3,000 L/s |
| 转速 Rotor speed | 20,000–90,000 rpm |
| 压缩比（N2） Compression ratio (N2) | 10⁸–10¹¹ |
| 轴承类型 Bearing type | Ceramic ball or magnetic |
| 前级压力 Backing pressure | Below 0.1 mbar |
| 进气法兰 Inlet flange | DN 63–DN 250 CF or KF |
| 冷却 Cooling | Air or water |
| 重量 Weight | 5–40 kg |
| 供电 Power supply | 24 V DC or 220 V controller |
| 型号 | VPU-0003 |
| 产地 | 中国（上海发货） |
适用标准 Standards
IEC 61010-1
IEC 61326-1
ISO 21360
ISO 27893
ISO 20485
GB 4793.1
本类产品参照的中国国家标准（GB/T、JJG）及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。
包装与运输 Packing & Shipping
出口包装
免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
每台设备在包装前均进行通电运行测试，内衬防震泡沫与防潮膜，木箱符合国际植物检疫标准 (ISPM 15)。
装运港
上海港 / 宁波港（其他港口可议）
海运整柜 (FCL)、拼箱 (LCL) 或空运均可安排，全套出口单证随货提供。
立即询价 Request Quotation
请填写以下信息，我们的外贸工程师将在 24 小时内发送详细配置与正式形式发票。
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5 款
