Clean Benches

洁净工作台（洁净室设备）

ULPA Clean Bench for Semiconductor and Optics 半导体和光学用 ULPA 洁净工作台

图片仅供参考，具体配置以订单为准。

型号 CLB-0003 · 洁净室设备

半导体和光学用 ULPA 洁净工作台

ULPA Clean Bench for Semiconductor and Optics

晶圆处理、光罩检验和精密光学装配，对比 HEPA 目标更细的颗粒也很敏感。本工作台采用效率不低于 99.9995% 的 U15 ULPA 过滤器，洁净度达 ISO 4–5，可选垂直或水平流，风速 0.3–0.4 m/s，由变速 EC 风机驱动。

过滤器等级: U15 ULPA, ≥ 99.9995 %
洁净度等级: ISO 4–5
风速: 0.3–0.4 m/s
气流方向: Vertical or horizontal
工作区宽度: 900–1500 mm

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包装与运输

产地	中国（上海发货）
品牌	利奎德国际 / 可 OEM 贴牌
出口包装	免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
装运港	上海港 / 宁波港（其他港口可议）
付款方式	T/T 电汇、即期信用证（以报价单为准）
贸易术语	EXW、FOB、CFR、CIF、DAP

以上为常规出口条款，最终条款以形式发票 (PI) 为准。

产品描述 Description

产品特点

照度不低于 600 lux，便于检验。
噪声不超过 60 dB(A)。
工作区宽 900–1500 mm。
适合 MEMS 封装。

应用领域

晶圆处理
光掩膜检查
精密光学装配
MEMS 器件封装

技术参数 Specifications

参数	数值
过滤器等级 Filter grade	U15 ULPA, ≥ 99.9995 %
洁净度等级 Cleanliness class	ISO 4–5
风速 Air velocity	0.3–0.4 m/s
气流方向 Airflow direction	Vertical or horizontal
工作区宽度 Work-zone width	900–1500 mm
风机类型 Fan type	EC, variable speed
噪声 Noise level	≤ 60 dB(A)
照度 Illuminance	≥ 600 lux
电源 Power supply	220 V, 50 Hz, 300–700 W
工作面 Work surface	304 or 316 stainless steel
型号	CLB-0003
产地	中国（上海发货）

适用标准 Standards

ISO 14644-1 (cleanroom classification) ISO 14644-3 (test methods) ISO 14644-4 (design and construction) IEST-RP-CC002 (unidirectional flow devices) JG/T 292 (clean bench) GB/T 25915.1 EN 1822 (HEPA and ULPA filters)

本类产品参照的中国国家标准（GB/T、JJG）及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。