Vacuum Chambers
真空腔体
图片仅供参考，具体配置以订单为准。
型号 VAC-0003 · 真空设备
真空镀膜腔体
Vacuum Coating Chamber
研发光学膜或导电层原型的课题组，需要围绕自身工艺设计的腔体。本镀膜腔体工作压力10⁻³–10⁻⁷ mbar，容积20–500 L，304或316L材质，CF或ISO KF法兰，1–4个溅射靶，旋转或加热样品台，1–3个观察窗，配石英晶振膜厚监测。请提供工艺布局。
- 工作压力
- 10⁻³–10⁻⁷ mbar
- 腔体容积
- 20–500 L
- 材料
- Stainless steel 304 or 316L
- 法兰标准
- CF or ISO KF
- 基板台
- Rotating or heated
包装与运输
| 产地 | 中国（上海发货） |
|---|---|
| 品牌 | 利奎德国际 / 可 OEM 贴牌 |
| 出口包装 | 免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱 |
| 装运港 | 上海港 / 宁波港（其他港口可议） |
| 付款方式 | T/T 电汇、即期信用证（以报价单为准） |
| 贸易术语 | EXW、FOB、CFR、CIF、DAP |
以上为常规出口条款，最终条款以形式发票 (PI) 为准。
产品描述 Description
研发光学膜或导电层原型的课题组，需要围绕自身工艺设计的腔体。本镀膜腔体工作压力10⁻³–10⁻⁷ mbar，容积20–500 L，304或316L材质，CF或ISO KF法兰，1–4个溅射靶，旋转或加热样品台，1–3个观察窗，配石英晶振膜厚监测。请提供工艺布局。
产品特点
- 1–4个溅射靶位
- 旋转或加热基片台
- 石英晶振膜厚监测
- CF或ISO KF法兰
应用领域
- 溅射和蒸发镀膜
- 光学薄膜
- 导电层和阻隔层
- 研究用原型沉积
- 小批量生产镀膜
技术参数 Specifications
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 工作压力 Working pressure | 10⁻³–10⁻⁷ mbar |
| 腔体容积 Chamber volume | 20–500 L |
| 材料 Material | Stainless steel 304 or 316L |
| 法兰标准 Flange standard | CF or ISO KF |
| 基板台 Substrate stage | Rotating or heated |
| 靶材 Targets | 1–4 sputtering targets |
| 观察窗 View ports | 1–3 |
| 膜厚监测 Thickness monitor | Quartz crystal |
| 装载锁 Load lock | Optional |
| 冷却 Cooling | Water-cooled shields |
| 型号 | VAC-0003 |
| 产地 | 中国（上海发货） |
适用标准 Standards
IEC 61010-1
ISO 21360
ISO 27893
ISO 9001
GB 4793.1
本类产品参照的中国国家标准（GB/T、JJG）及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。
包装与运输 Packing & Shipping
出口包装
免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
每台设备在包装前均进行通电运行测试，内衬防震泡沫与防潮膜，木箱符合国际植物检疫标准 (ISPM 15)。
装运港
上海港 / 宁波港（其他港口可议）
海运整柜 (FCL)、拼箱 (LCL) 或空运均可安排，全套出口单证随货提供。
立即询价 Request Quotation
请填写以下信息，我们的外贸工程师将在 24 小时内发送详细配置与正式形式发票。
相关产品
6 款
