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Surface Profilometers

表面轮廓仪

型号 SUP-0002 · 表面分析仪器

白光干涉三维光学轮廓仪

White-Light Interferometric 3D Optical Profilometer

MEMS、半导体和光学团队在不能接触表面时,可用白光干涉测量面粗糙度和台阶高度。PSI模式垂直分辨率低于0.1 nm,CSI模式约1 nm,垂直扫描范围最大10 mm。物镜2.5×–100×,视场0.05–5 mm,台阶高度重复性≤0.1%。

垂直分辨率
< 0.1 nm (PSI); ~1 nm (CSI)
垂直扫描范围
Up to 10 mm
物镜
2.5×–100×
视场
0.05–5 mm
横向分辨率
0.35–4 µm (objective-dependent)
立即询价

包装与运输

产地中国(上海发货)
品牌利奎德国际 / 可 OEM 贴牌
出口包装免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
装运港上海港 / 宁波港(其他港口可议)
付款方式T/T 电汇、即期信用证(以报价单为准)
贸易术语EXW、FOB、CFR、CIF、DAP

以上为常规出口条款,最终条款以形式发票 (PI) 为准。

产品描述 Description

MEMS、半导体和光学团队在不能接触表面时,可用白光干涉测量面粗糙度和台阶高度。PSI模式垂直分辨率低于0.1 nm,CSI模式约1 nm,垂直扫描范围最大10 mm。物镜2.5×–100×,视场0.05–5 mm,台阶高度重复性≤0.1%。

产品特点

  • PSI模式垂直分辨率达亚纳米级
  • 垂直扫描范围最大10 mm
  • 物镜2.5×–100×可选
  • 高数值孔径物镜可测约70°斜面

应用领域

  • MEMS 和半导体形貌
  • 光学表面粗糙度
  • 抛光金属和陶瓷分析
  • 薄膜台阶高度

技术参数 Specifications

参数数值
垂直分辨率 Vertical resolution < 0.1 nm (PSI); ~1 nm (CSI)
垂直扫描范围 Vertical scan range Up to 10 mm
物镜 Objectives 2.5×–100×
视场 Field of view 0.05–5 mm
横向分辨率 Lateral resolution 0.35–4 µm (objective-dependent)
相机 Camera 1–5 MP
台阶高度重复性 Step height repeatability ≤ 0.1% (1σ)
最大斜率 Maximum slope ≈ 30° (smooth), up to 70° with high NA
样品尺寸 Sample size Up to 200 × 200 mm, 100 mm height
测量时间 Measurement time 5–60 s per field
型号SUP-0002
产地中国(上海发货)

适用标准 Standards

ISO 4287 ISO 21920-2 ISO 25178-2 ISO 4288 ASTM D7127

本类产品参照的中国国家标准(GB/T、JJG)及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。

包装与运输 Packing & Shipping

出口包装

免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱

每台设备在包装前均进行通电运行测试,内衬防震泡沫与防潮膜,木箱符合国际植物检疫标准 (ISPM 15)。

装运港

上海港 / 宁波港(其他港口可议)

海运整柜 (FCL)、拼箱 (LCL) 或空运均可安排,全套出口单证随货提供。

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本次询价产品: White-Light Interferometric 3D Optical Profilometer (SUP-0002)

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