X-Ray Diffractometers
X 射线衍射仪
图片仅供参考，具体配置以订单为准。
型号 XRA-0003 · X 射线分析仪器
掠入射薄膜 X 射线衍射仪
Thin-Film X-Ray Diffractometer with Grazing Incidence
厚度仅几纳米的阻挡层、硬质涂层和氧化膜，在常规扫描中几乎看不到信号。这台薄膜衍射仪采用0.1–5°掠入射和平行光镜面光路，可分析1 nm至10 µm的薄膜，可容纳最大200 mm晶圆，并支持摇摆曲线和极图测量织构。请告知膜厚和基底材料。
- 入射角
- 0.1–5°
- 2-theta 范围
- 0–120°
- 光学
- parallel beam with mirror
- 检测器
- line or area detector
- 薄膜厚度
- 1 nm to 10 µm
包装与运输
| 产地 | 中国（上海发货） |
|---|---|
| 品牌 | 利奎德国际 / 可 OEM 贴牌 |
| 出口包装 | 免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱 |
| 装运港 | 上海港 / 宁波港（其他港口可议） |
| 付款方式 | T/T 电汇、即期信用证（以报价单为准） |
| 贸易术语 | EXW、FOB、CFR、CIF、DAP |
以上为常规出口条款，最终条款以形式发票 (PI) 为准。
产品描述 Description
厚度仅几纳米的阻挡层、硬质涂层和氧化膜，在常规扫描中几乎看不到信号。这台薄膜衍射仪采用0.1–5°掠入射和平行光镜面光路，可分析1 nm至10 µm的薄膜，可容纳最大200 mm晶圆，并支持摇摆曲线和极图测量织构。请告知膜厚和基底材料。
产品特点
- 掠入射增强超薄膜信号
- 可容纳最大200 mm晶圆
- 摇摆曲线评估外延质量
- 平行光光路，对表面不平容忍度高
应用领域
- 半导体薄膜和阻挡层
- 光学和硬质涂层
- 外延薄膜和衬底关系
- 腐蚀和氧化层分析
技术参数 Specifications
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 入射角 Incidence angle | 0.1–5° |
| 2-theta 范围 2-theta range | 0–120° |
| 光学 Optics | parallel beam with mirror |
| 检测器 Detector | line or area detector |
| 薄膜厚度 Film thickness | 1 nm to 10 µm |
| X 射线管功率 X-ray tube power | 1–3 kW |
| 样品尺寸 Sample size | up to 200 mm wafers |
| 织构测量 Texture measurement | rocking curves and pole figures |
| 测量气氛 Atmosphere | air or vacuum |
| 通信接口 Interface | Ethernet |
| 型号 | XRA-0003 |
| 产地 | 中国（上海发货） |
适用标准 Standards
ASTM E915 Verifying the alignment of X-ray diffraction instrumentation
ASTM E1426 Determining the effective elastic parameter for X-ray diffraction measurements of residual stress
USP <941> X-Ray Diffraction
ISO 20203 Carbonaceous materials — XRD of calcined coke
ISO/IEC 17025
IEC 61010-2-091
本类产品参照的中国国家标准（GB/T、JJG）及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。
包装与运输 Packing & Shipping
出口包装
免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
每台设备在包装前均进行通电运行测试，内衬防震泡沫与防潮膜，木箱符合国际植物检疫标准 (ISPM 15)。
装运港
上海港 / 宁波港（其他港口可议）
海运整柜 (FCL)、拼箱 (LCL) 或空运均可安排，全套出口单证随货提供。
立即询价 Request Quotation
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5 款
型号 XRA-0001
单晶 X 射线衍射仪Single-Crystal X-Ray Diffractometer
- 晶体尺寸
- 50–300 µm typical
- 2-theta 范围
- up to 160°
型号 XRA-0002
四圆 X 射线衍射仪Four-Circle X-Ray Diffractometer
- 轴数
- omega, 2-theta, chi, phi
- chi 范围
- 0–90° or more
