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X-Ray Diffractometers

X 射线衍射仪

型号 XRA-0004 · X 射线分析仪器

X 射线反射率衍射仪

X-Ray Reflectometry Diffractometer

多层镀膜、聚合物薄膜和半导体叠层以厚度、密度和界面粗糙度为规格指标,X射线反射率法可直接测量。本机扫描0–10°,最小步长0.001°,可测厚度0.3–500 nm,粗糙度0.1–5 nm,样品平整度需优于1 nm RMS。请告知膜层结构。

角度范围
0–10°
厚度范围
0.3 nm to 500 nm
粗糙度分辨率
0.1–5 nm
角度步进
down to 0.001°
检测器
scintillation or area detector
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包装与运输

产地中国(上海发货)
品牌利奎德国际 / 可 OEM 贴牌
出口包装免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱
装运港上海港 / 宁波港(其他港口可议)
付款方式T/T 电汇、即期信用证(以报价单为准)
贸易术语EXW、FOB、CFR、CIF、DAP

以上为常规出口条款,最终条款以形式发票 (PI) 为准。

产品描述 Description

多层镀膜、聚合物薄膜和半导体叠层以厚度、密度和界面粗糙度为规格指标,X射线反射率法可直接测量。本机扫描0–10°,最小步长0.001°,可测厚度0.3–500 nm,粗糙度0.1–5 nm,样品平整度需优于1 nm RMS。请告知膜层结构。

产品特点

  • 无损测量厚度和密度
  • 角度步长细,适合厚膜或多层膜
  • 可定量纳米级界面粗糙度
  • 晶态和非晶薄膜均可测

应用领域

  • 单层和多层膜厚度
  • 界面粗糙度和互扩散
  • 聚合物和有机薄膜
  • 半导体和光学涂层质量

技术参数 Specifications

参数数值
角度范围 Angular range 0–10°
厚度范围 Thickness range 0.3 nm to 500 nm
粗糙度分辨率 Roughness resolution 0.1–5 nm
角度步进 Angular step down to 0.001°
检测器 Detector scintillation or area detector
X 射线管功率 X-ray tube power 1–3 kW
光学 Optics parallel beam or monochromator
样品平整度 Sample flatness better than 1 nm RMS
样品尺寸 Sample size up to 200 mm wafers
通信接口 Interface Ethernet
型号XRA-0004
产地中国(上海发货)

适用标准 Standards

ASTM E915 Verifying the alignment of X-ray diffraction instrumentation ASTM E1426 Determining the effective elastic parameter for X-ray diffraction measurements of residual stress USP <941> X-Ray Diffraction ISO 20203 Carbonaceous materials — XRD of calcined coke ISO/IEC 17025 IEC 61010-2-091

本类产品参照的中国国家标准(GB/T、JJG)及国际标准。检测报告与证书可随报价单一并提供。

包装与运输 Packing & Shipping

出口包装

免熏蒸胶合板木箱或加固纸箱

每台设备在包装前均进行通电运行测试,内衬防震泡沫与防潮膜,木箱符合国际植物检疫标准 (ISPM 15)。

装运港

上海港 / 宁波港(其他港口可议)

海运整柜 (FCL)、拼箱 (LCL) 或空运均可安排,全套出口单证随货提供。

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